愛德華螺桿真空泵IH80/160維修，半導(dǎo)體行業(yè)專用愛德華螺桿真空泵IH80/160，全新原裝愛德華螺桿真空泵IH80/160，四川綿陽愛德華螺桿真空泵IH80/160維修，愛德華螺桿真空泵IH80/160維修需要更換哪些配件，愛德華螺桿真空泵IH80/160多長時(shí)間保養(yǎng)一次。歡迎來電咨詢：13826954831? 楊生
東莞市品雅真空設(shè)備有限公司專業(yè)從事愛德華真空泵設(shè)備維修15年，一直秉承著專業(yè)的維修技術(shù)，高效的服務(wù)態(tài)度來對(duì)待可以，常年服務(wù)去漢能，中車集團(tuán)，富士康集團(tuán)，信利集團(tuán)等，有著專業(yè)的維修設(shè)備和技術(shù)人員，可以全國范圍內(nèi)上門維修保養(yǎng)，提供各種進(jìn)口真空泵配件及維修包，真空泵油脂等。
愛德華螺桿真空泵IX80/160產(chǎn)品功能與優(yōu)勢：
優(yōu)化了設(shè)施消耗。
無需預(yù)防性維護(hù)。
懸臂軸和特殊的異型轉(zhuǎn)子便于顆粒的處理。
在節(jié)省電機(jī)功率的同時(shí)最大程度提高了工作繁重的 CVD 應(yīng)用條件下的穩(wěn)定性。
耐腐蝕的制造材料允許泵送腐蝕性氣體。
較高的工作溫度為避免氣體冷凝提供了充分的安全保證。
整體式軸桿無需使用電機(jī)聯(lián)結(jié)器，而第五級(jí)泵消除了使用消音器的需要并消除了顆粒堆積，從而降低了總體占地面積。
Edwards 高級(jí)半導(dǎo)體真空泵已經(jīng)過現(xiàn)場應(yīng)用證明，可以按照最高工作標(biāo)準(zhǔn)運(yùn)行。通過延長使用壽命、提高運(yùn)行時(shí)間并提高生產(chǎn)率，同時(shí)最大程度地減小占地面積、降低運(yùn)行成本，實(shí)現(xiàn)了高的可靠性和性能。
iH 系列為難以執(zhí)行的制程（如存在微粒、易冷凝和腐蝕性副產(chǎn)品的 PECVD 和 LPCVD 制程）提供了高可靠性。
行業(yè)應(yīng)用：
負(fù)載鎖
輸送
計(jì)量
平版印刷
PVD 制程
PVD 預(yù)清潔
RTA
剝離/灰化
刻蝕
植入源
HDP CVD
RTP
SACVD
MCVD
PECVD
LPCVD
ALD
技術(shù)參數(shù)
| 峰值速度 | 103?m3h-1 |
| 61?cfm | |
| 1717 l min-1 | |
| 極限真空 | 1?x 10-2?mbar |
| 7.5?x 10-3?Torr | |
| 1?Pa | |
| 典型軸封氮流量 | 4 slm |
| 進(jìn)氣口連接 | ISO63 |
| 出口連接 | NW40 |
| 15 psi 壓降下典型冷卻水流量 | 120 l h-1 |
| 2 l min-1 | |
| 重量 | 240 kg |
| 極限功率輸入 | 2.7 kW |
| 電機(jī)額定功率 | 3.5?kW |
| 油容量 | 0.7 l |
IH160技術(shù)參數(shù)：
| 峰值速度 | 165?m3h-1 |
| 97?cfm | |
| 2750?l min-1 | |
| 極限真空 | 1?x 10-2?mbar |
| 7.5?x 10-3?Torr | |
| 1?Pa | |
| 典型軸封氮流量 | 4 slm |
| 進(jìn)氣口連接 | ISO63 |
| 出口連接 | NW40 |
| 15 psi 壓降下典型冷卻水流量 | 120 l h-1 |
| 2 l min-1 | |
| 重量 | 244 kg |
| 極限功率輸入 | 3.1?kW |
| 電機(jī)額定功率 | 5.0?kW |
| 油容量 | 0.85 l |
愛德華螺桿真空泵IH80/160訂貨號(hào)：
iH80 干式泵 460V，60 Hz，3 相
A59000908
iH80 干式泵 200/208V，50/60 Hz，3 相
A59000945
iH80 干式泵 380/415V，50 Hz，3 相
A59000946
iH80 干式泵 230V，60 Hz，3 相
A59000957
iH160 干式泵 460V，60 Hz，3 相
A59010908
iH160 干式泵 200/208V，50/60 Hz，3 相
A59010945
iH160 干式泵 380/415V，50 Hz，3 相
A59010946
iH160 干式泵 230V，60 Hz，3 相
A59010957
愛德華真空泵產(chǎn)品多樣化，每個(gè)型號(hào)有很多的種類，歡迎有需要選擇和購買的客戶來電咨詢品雅真空小楊：13826954831，用最專業(yè)嚴(yán)謹(jǐn)?shù)闹R(shí)，為客戶提供最佳的方案。
