首先是最簡單直觀的揩拭法。揩拭法在日常中都很常見。真空系統中的各種表面或部件在應用前或清洗后，用白色的潔凈紙巾揩擦，如有污跡，就能直觀地看出來。當然這種方法也只能作為定性檢查，無法進行更細致地判斷。
其次水膜法。這種類似方法在判斷玻璃等物件清洗是否徹底中也有應用。就是將零件或試樣等放入去離子水中再取出查看，如果表面有一層連續的水膜，就是潔凈的，反之水膜破裂，就表面真空系統部件有油污等存在。
試紙法。利用標準G型極性溶液0.1mL，滴在被檢表面；再用A型驗油紙貼在被檢表面上1分鐘左右，取下試紙。如果試紙為連續而均勻的紅色，就表明表面清潔無油污，反之就是還存在油污染了。
玻璃觀測法。這種方法可以檢查真空抽氣機組是否會對真空室產生油污染，或者是真空室中各種元件產生的污染。簡單歸納就是選擇幾塊小玻璃片，清洗干凈后，放置于真空室的不同部位，如有污染就會在玻璃表面留下痕跡，通過肉眼就能觀察。
以上這些都是一些直觀的判斷觀察方法，如果需要進一步進行定量了解以及分析污染物的成分等，就需要用到檢測儀器，如四極質譜計等。
防范于未然，真空泵是一種被廣泛應用的設備，那么這種設備是怎么來防治污染的呢?這種設備的功率大嗎?下面就來為大家解說下真空泵怎么有效防備污染?
對于真空泵來說，最影響運用功率的莫過于真空污染形成的真空墜落。什么是真空污染?其實即是水蒸氣凝結成滴進入泵內混合，能使咱們的真空泵的零部件生銹，進而形成真空墜落。因而，咱們必須對這方面的污染早做處置。
第一種方法是能夠選用帶有氣鎮設備的真空泵;
第二種方法是加裝油分離器或油水分離器，能夠有用處置進入真空泵中的水蒸氣，達到防止效果;第三種方法是運用液氮冷阱或者是吸水性強的單調劑有用地吸附水蒸氣，從源頭解決疑問。
總之，為真空泵的運用安全和功率思考，咱們需要對這方面的問題進行防備。
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