未定期對真空泵進行維修，設備管理者根據真空泵資料和同行業與企業的多年經驗，從制度上規定設備或車輛按一定周期進行規定內容的大、中、小維修或一、二、三保養。真空泵運行到規定周期后不管真空泵狀況如何，都要執行進行規定內容的維修，這種維修隊消除故障隱患和真空泵在運行周期中不處大故障有好的保障，但經濟性不佳。意識這些維修規范的制定以在惡劣條件下維修間隔內不處故障為前提，因而在正常條件下會有一定余量，貳拾某些還是健康的零部件也會被換掉，三是一些已磨合好的運動副換了新品需再磨合，效率會下降。
真空泵原因，這與人有病要去醫治的簡單道理一樣，因為真空泵維修是真空泵管理的一個重要內容，一方面通過維修更換已損壞或可能將損壞的零部件，調整長期運行中變化了的一些機械參數，使真空泵維修后，真空泵能夠提率，維持至下一維修周期內不發生意外故障。另一方面通過維修能幾類真空泵管理經驗，實行對真空泵改進的措施。
真空泵維修的進展，就像人生病一樣，醫生通過對病人的常規檢查或各種透視等的數據，結合人體解剖學知識或臨床經驗，推測體內各器官的病變，盡量不用開刀而準確診斷，從而對癥下藥。真空泵故障診斷也希望無需把正在運轉的真空泵停下來拆開而用各種方法取得有關數據，診斷真空泵內部的故障狀況，從而采取一定的維修措施，使真空泵長周期、率運轉。真空泵維修一方面是消除故障隱患，在發生上述兩類故障前把隱性故障排除；另一方面使真空泵長周期率運轉，也為真空泵的進一步改進提供依據。事后維修，俗語壞了就修，故障發生后根據故障的性質及范圍決定維修內容，這類維修造成損失較大，它打亂了生產計劃。因維修準備倉促而無法保證維修質量，停機周期廠，往往不能在停機維修發生故障部位的同時，會防不勝防。
真空泵不能啟動，主要表現為真空泵加電后不能啟動運轉。這時應首先檢查真空泵的電路部分，如保險管是否燒毀、電路部分有沒有元氣件燒壞。在真空狀態下，氣體通過管道的流動屬于稀薄氣體流動。在真空系統管路中的氣流有五種流動狀態：湍流(又稱紊流、渦流)；湍-粘滯流；粘滯流(又稱層流、粘性流、泊稷葉流)；粘滯-分子流；分子流(又稱自由分子流、克努森流)。湍-粘滯流是湍流和粘滯流之間的過渡狀態，粘滯-分子流是粘滯流和分子流之間的過渡狀態。
