在真空系統(tǒng)中,殘余氣體是影響真空工藝性能及真空器件壽命的重要因素。因為真空系統(tǒng)中的殘余氣體及某些有害氣體，會破壞真空系統(tǒng)的性能，還可能會促發(fā)某些損壞真空室內(nèi)應(yīng)用器件的現(xiàn)象。在實際工作中，有時不但要降低真空器件中殘余氣體的量，更要控制殘余氣體的成份。
從高真空及超高真空的角度來看，真空系統(tǒng)內(nèi)的殘余氣體是-一個必須引起注意的問題。
殘余氣體往往造成真空系統(tǒng)內(nèi)部的表面污染，從而達不到真空工藝所要求的結(jié)果(例如，不
能獲得所需沉積的薄膜或者是使放電及等離子的狀況發(fā)生變化)的重要原因。另外，對超高
真空系統(tǒng)來說，殘余氣體的成分對系統(tǒng)的極限壓力往往產(chǎn)生重要影響，如果抽氣系統(tǒng)或抽氣
的工藝方法選擇不當(dāng)，會使真空系統(tǒng)達不到預(yù)期的本底壓力。
真空系統(tǒng)中的殘余氣體成分是與真空系統(tǒng)的作業(yè)種類及工藝(如，鍍膜、金屬熔煉等)和所用的抽氣系統(tǒng)的類型有關(guān)，今天主要分析機械泵機械真空泵及油擴散泵抽氣系統(tǒng):
一、機械真空泵及油擴散泵抽氣系統(tǒng)
(1) 在低真空下使用的真空裝置中，殘余氣體主要為空氣(O2、N2…; 如果操作工藝中有化學(xué)反應(yīng)，就要加上反應(yīng)生成氣體的成分;若是脫氣熔煉裝置，則要加上由熔煉金屬放出的氣體;如果是冷凍干燥裝置還要加上水蒸汽成分.
(2)在只用油封機械泵連續(xù)進行長時間抽氣的真空裝置中，當(dāng)無泄漏時，殘余氣體中
有:有機物及水蒸汽。
(3)在用油擴散泵抽氣的高真空裝置中，殘余氣體中主要有:有機物和水蒸氣。此時，若以性能良好的硅油作工作液或在抽氣系統(tǒng)中加入冷阱和擋板，則可大大降低殘余氣體中的有機碳氫化合物，但是加上擋板和冷阱使抽氣系統(tǒng)的抽速下降。
(4)在機械泵與擴散泵當(dāng)中串入分子篩或活性氧化鋁的吸附阱，可以顯著地降低機械泵油蒸氣對系統(tǒng)的影響。
另外，擴散泵抽氣系統(tǒng)的正確操作也可以降低系統(tǒng)中的有機油蒸汽的分壓。
只要采用用油作工作介質(zhì)的真空抽氣系統(tǒng),殘余氣體中的油蒸汽及各種有機物就較多。
在不經(jīng)加熱烘烤除氣處理的裝置中，由于器壁吸附的水蒸氣的放出，殘余氣體中的主要成分
多為水蒸汽。
