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真空容器中污染物的主要來源有哪些

文章出處:品雅真空 責任編輯:品雅真空 人氣:920911  發表時間:2020-06-05

很多真空應用中,都需要避免污染,像涉及食品藥品制造,以及電子器件、半導體、光學器件制造等。那今天螺桿真空泵廠家就與大家一起來認識下真空容器中污染物的主要來源有哪些。

 

真空容器中的污染物主要來自于加工制造過程、安裝調試過程以及真空原件和環境的影響,更具體的大致包括以下幾個方面:

 

首先是真空容器以及它的內部安裝的各種機構,都是通過機械加工得到。因此這個過程中,它們的表面不可避免的會受到潤滑油、冷卻液、焊接的污染,這些是真空容器中污染物的重要來源之一。

 

其次是和真空系統選擇的真空設備有關。真空容器抽真空中,對于真空泵的選擇種類很多,像油擴散泵、油封式機械泵、往復泵、各種干式真空泵等。其中油擴散泵、油封泵以及常規往復泵,它們的工作介質都會涉及油,因此真空室產生會難以避免的受到油蒸氣的污染。而就算是干式真空泵,如螺桿真空泵、渦旋真空泵、爪泵、渦輪分子泵等,雖然腔體沒有油介質,但大部分齒輪箱、軸承等地方還是存在潤滑油脂。即使是使用低蒸氣壓的油脂,極少量的油蒸氣還是有可能返流到真空容器中,因而很難做到絕對杜絕。

 

第三是各類真空閥門。它們的運動機構有時采用油或脂潤滑,這是常被人們忽視的污染源。因此有些對污染敏感的真空應用中,真空閥門會要求采用固體潤滑。

 

第四是真空容器中有時會存在有機涂層,常有各種測試導線,以及運動機構的潤滑、軸承的潤滑,溶氧也是污染源之一。

 

第五是安裝過程中,清洗液的殘留物,操作人員的衣著、手跡、毛發皮屑等會造成污染,以及使用工具時帶來的污染。

 

第六是材料軋制、存儲、機加工后產生的氧化層、氮化層未清理,這也是污染源。

 

第七是真空容器中各種材料本身的解吸與出氣。

最后就是環境污染物,就是試驗樣品存放場地有機物或無機物的污染。

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